압입기의 정점에서 생성되고 Berkov

압입기의 정점에서 생성되고 Berkovich 들여 쓰기에 3 중 대칭을, 그리고 비커스 들여 쓰기에 4 중 대칭을 갖는 실리콘 웨이퍼의 방향에 대한 압자의 ê· ì—´ 형태와 ì •ë ¬ 간에는 상관 관계가 없다. 들여 쓰기의 X 레이 회절 이미징 (XRD)은 이러한 기본 대칭을 나타내지 않으며 이미지는 ê·¸ 범위에서 매우 실질적인 변화 정도를 나타낸다. 이것은 XRDI 콘트라스트가 들여 쓰기 주변의 […]

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